新型MEMS流量传感器样机

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新型MEMS流量传感器样机

基于压电效应的新型MEMS流量传感器；该微型MEMS传感器可以实现微流体的流速测定，在生物医学、生物医学和微流体设备的检测等领域，具有广阔的应用前景。

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